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MEMS传感器是利用半导体制造工艺和材料，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等集成于芯片上的微型器件或系统。（）

发布时间：2026年05月19日 10:33 中迅网校阅读量：71

MEMS传感器是利用半导体制造工艺和材料，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等集成于芯片上的微型器件或系统。（）

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上一题：光纤传感器与传统机电类传感器相比，具有的优点包括（）。下一题：电容式传感器是以电阻器作为传感元件，将被测物理量转换为电阻变化的一种转换装置。（）

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