MEMS传感器的特点包括（ ）。
体积小、重量轻
集成了放大电路和补偿电路
响应时间长
可集成多种功能的器件形成复杂微系统
MEMS器件体积小、重量轻、惯性小、谐振频率高、响应时间短，选项C错误。其他均为MEMS传感器的特点。
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